ГлавнаяО компании Продукция Технологии ЦеныКонтакты
Производство и разработка вакуумного оборудования
Мы в соц. сетях
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта

Написать нам

Установка вакуумного напыления Fermi

Область применения: микроэлектроника, оптика.
Тип вакуумной камеры –
D-форма, кубическая.
Напыление: снизу-вверх, сбоку.
Оснастка: планетарный держатель подложек.
Технологические устройства: магнетроны, терморезистивные испарители, электронно-лучевые испарители, ионные источники.

Задать вопрос специалисту
Установка Fermi
Установка вакуумного напыленияВакуумная камераУниверсальный вакуумный постВакуумная установкаВакуумные исследовательские установкиВакуумная станцияКомплектующие производства
Всегда готовы помочь

Установка вакуумного напыления Fermi в Новосибирске

Установка вакуумного напыления Fermi в Новосибирске

Установка вакуумного напыления Fermi предназначена для создания напылительного оборудования чистых производств. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования в лабораториях и на мелкосерийном производстве.

Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств, как на боковых стенках и дверях вакуумной камеры, так и на днище.

Особые конфигурации предусматривают шлюзовую загрузочную камеру. При этом подложки размещаются на вращающемся подложкодержателе. Вакуумная камера имеет D-образную форму или форму многогранника.

Установка вакуумного напыления Fermi 500

Технические характеристики:

  • 4 технологических устройства: 3 магнетрона, 1 многоячеечный ионный источник, 8-позиционный подложкодержатель
  • Диаметр мишени: 50 мм
  • Тип мишени: проводящие материалы
  • Внутренние габариты вакуумной камеры (ДxШxВ): 500x500x500мм

Область применения:

Напыление многослойных покрытий различного назначения.

Цена: 17 850 000 руб.

Звоните по т. 8(800)222-90-33, либо отправляйте заявку, и мы подберем решение для Вашего производства!

Преимущества установки вакуумного напыления Fermi

  • Возможность использования нескольких устройств в одном технологическом цикле: магнетрон, электронно-лучевой испаритель, терморезистивный испаритель.
  • Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
  • Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
  • Простота модернизации.
Установка вакуумного напыления Fermi в Новосибирске Производство установок вакуумного напыления Fermi в Новосибирске Продажа установок вакуумного напыления Fermi в Новосибирске Изготовление установок вакуумного напыления Fermi в Новосибирске

Виды установок вакуумного напыления на основе платформы Ферми:

Установка магнетронного напыления Ферми

Вакуумная установка для магнетронного напыления Ферми предназначена для нанесения металлов и других электропроводящих соединений посредством магнетронов с возможностью ионной обработки поверхности и ассистирования.

Установка обеспечивает напыление многослойных покрытий, как по заданной программе, так и в ручном режиме. Конструктивно установка выполнена в виде кубической вакуумной камеры, установленной на монтажной раме. Отдельно устанавливается стандартная 19-ти дюймовая телекоммуникационная стойка с источниками питания, контроллерами и управляющим компьютером, а также чиллер охлаждения.

На вакуумной камере установлена дверь загрузки/выгрузки и обслуживания технологических устройств. Подложки устанавливаются в горизонтально расположенный карусельный подложкодержатель – реализована схема напыления «снизу вверх». 

Установка магнетронного напыления

Установка магнетронного напыления

Установка электронно-лучевого напыления оптических покрытий Ферми

Установка электронно-лучевого напыления предназначена для нанесения покрытий посредством электронно-лучевого испарителя. При данном способе нанесения покрытий обеспечивается однородность структуры покрытия (отсутствие дефектов) и равномерность по толщине по всей площади подложки.

Виды оптических покрытий:

  • Поляризаторы;
  • AR-покрытия;
  • Линзы и компоненты камер;
  • Цветовые фильтры;
  • Интерференционные зеркала;
  • Сенсорные экраны.

Особенности:

  • Широкополосная система оптического контроля;
  • Карусельный и планетарный подложкодержатели;
  • Шлюзовая загрузка-выгрузка;
  • Безмасляная вакуумная откачка;
  • Ручной/автоматический режим;
  • Возможность ионно-лучевой очистки и ассистирования;
  • Регулируемая зона напыления;
  • Сетевое подключение и удаленный доступ;
  • ПО собственной разработки (зарегистрировано в реестре ПО Минцифры РФ);
  • Простота технического обслуживания.

Установка электронно-лучевого напыления

Установка электронно-лучевого напыления

Установка ионно-лучевого напыления оптических покрытий Ферми

Предназначение - серийное производство высокоточных покрытий компонентов лазерной оптики и гироскопов, элементов, применяемых в метрологии, микроскопии, телекоммуникации.

Виды оптических покрытий:

  • Фильтры;
  • Поляризаторы с высокой лучевой стойкостью;
  • Параметрические покрытия;
  • Зеркала с ультранизкими потерями.

Преимущества:

  • Широкополосная система оптического контроля;
  • Высокая оптическая однородность покрытий;
  • Шлюзовая камера загрузки-выгрузки изделий;
  • Сниженный уровень натекания газов в вакуумную камеру за счёт использования металлических уплотнений и двойных уплотнений с дифференциальной откачкой;
  • Использование периферийных устройств с низким газовыделением;
  • Криогенная откачка;
  • Низкая зависимость от импортных комплектующих;
  • Сетевое подключение и удаленный доступ;
  • ПО собственной разработки (зарегистрировано в реестре ПО Минцифры РФ).

Установка ионно-лучевого напыления

Установка магнетронного и терморезистивного испарения Ферми

Установка магнетронного и терморезистивного испарения предназначена для нанесения металлов и органических соединений посредством ПТ/ВЧ магнетронов и терморезистивных испарителей с возможностью термостатирования образцов.

Вакуумная камера герметично пристыкована к перчаточному боксу таким образом, что загрузка/выгрузка подложек осуществляется без разгерметизации на атмосферу. Также вакуумная камера имеет дверь сервисного обслуживания технологических устройств, которая открывается на атмосферу. Подложки устанавливаются в горизонтально расположенный термостатируемый подложкодержатель – реализована схема напыления «снизу вверх».

Установка магнетронного и терморезистивного испарения

Установка магнетронного и терморезистивного испарения

Установка магнетронного и терморезистивного испарения

Технологии

Габариты вакуумной камеры зависят от размера и количества одновременно обрабатываемых подложек, а также от способа их размещения в оснастке. В соответствие с выбранной конфигурацией диаметр вписанной окружности вакуумной камеры может варьироваться от 400 мм до 1000 мм.

Установка вакуумного напыления Fermi в Новосибирске Производство установок вакуумного напыления Fermi в Новосибирске Продажа установок вакуумного напыления Fermi в Новосибирске Изготовление установок вакуумного напыления Fermi в Новосибирске

Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

  • Исследования в области физики твёрдого тела
  • Оптика
  • Электронное производство
ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.
Наши партнеры
ООО «Рефлакс»

ООО «Рефлакс» предлагает Вам широкий ассортимент высокоэффективных и экономичных газоразрядных ламп высокого давления собственного производства

www.reflux.ru
ЗАО «ИНТЕК АНАЛИТИКА»
Поставка вакуумного и криогенного оборудования с сопутствующими услугами (расчет вакуумных
систем, пуско-наладка, сервисное обслуживание)
www.intech-group.ru
Busch Vacuum Pumps and Systems
Компания Busch Vacuum Pumps and Systems является одним из самых крупных производителей
вакуумных насосов, воздуходувок и компрессоров в мире.
www.buschvacuum.com
Адыгея Республика
Алтайский Край
Амурская Область
Амурская область
Архангельская Область
Астраханская Область
Башкортостан Республика
Белгородская Область
Брянская Область
Бурятия Республика
Владимирская Область
Волгоградская Область
Вологодская Область
Воронежская Область
Дагестан Республика
Еврейская Автономная область
Забайкальский Край
Ивановская Область
Иркутская Область
Калининградская Область
Калужская Область
Камчатский Край
Карелия Республика
Кемеровская Область
Кировская Область
Кировская область
Костромская Область
Краснодарский Край
Красноярский Край
Крым
Курская Область
Ленинградская Область
Липецкая Область
Марий Эл Республика
Московская Область
Московская область
Нижегородская Область
Новгородская Область
Новосибирская Область
Омская Область
Оренбургская Область
Орловская Область
Пензенская Область
Пермский Край
Приморский Край
Ростовская Область
Рязанская Область
Самарская Область
Саратовская Область
Саха /Якутия/ Республика
Сахалинская Область
Свердловская Область
Ставропольский Край
Татарстан Республика
Тверская Область
Томская Область
Тульская Область
Удмуртская Республика
Ульяновская Область
Хабаровский Край
Хакасия Республика
Чеченская Республика
Чувашская Республика - Чувашия
Ярославская Область

Установка вакуумного напыления Fermi в Новосибирске

Установка вакуумного напыления (УВН) Fermi в Новосибирске, Новосибирская Область, для лабораторий и мелкосерийного производства. Удобная вакуумная камера D-образной формы. Большой спектр электронно-лучевого испарения, термического и ионно-лучевое напыления. Наличие ручного и автоматического режима, а также простое обслуживание сделают работу комфортной. Купить установки вакуумного напыления Fermi по доступной цене вы можете на сайте компании «Дана Инжиниринг». Мы предлагаем широкий ассортимент оборудования для производства разного масштаба. Подробности по номеру телефона 8(800)222-90-33.
Контакты
ООО «Дана Инжиниринг»
Производство и разработка вакуумного оборудования
ПН-ПТ: 10:00-19:00
СБ-ВС: Выходной
111524 Россия Московская область
Москва ул. Перовская, д.1, стр.22

2024, Разработано в