Ионное ассистирование

Ионное ассистирование

Ионное ассистирование - метод формирования тонкопленочных покрытий, основанный на ионной бомбардировке выращиваемой фазы.

Ускоренные ионы воздействуют на обрабатываемую поверхность в процессе наращивания плёнки, что позволяет изменять структуру. Улучшается микроструктура, а именно, увеличивается плотность и однородность, размельчается столбчатая структура, исчезает сквозная пористость. Таким образом, улучшается износо-, усталостная и коррозионная стойкость изделий с покрытиями.

С помощью метода магнетронного распыления с ионным ассистированием удается:

• Получать покрытия из металлов, сплавов, полупроводников и диэлектриков соотношением компонентов распыляемой мишени близким к исходному;
• Наносить покрытия с широким интервалом скоростей напыления: 0,1-100 мкм/ч;
• Обеспечить высокое качество, плотность и однородность при получении многослойных покрытий;
• Производить обработку изделий с целью их ионной очистки и активации перед нанесением покрытий в одном техническом цикле с нанесением покрытий;
• Наносить тонкопленочные проводящие, изолирующие покрытия на электронные компоненты; просветляющие, отражающие, защитные покрытия на детали оптических систем и приборов; упрочняющие, стойкие к коррозии и защитно-декоративные покрытия на металлы, стекло, пластмассы в производстве изделий различного назначения.